UPC 半导体玻璃通孔(TGV)填充工艺
专用于玻璃通孔的无空洞填充,通过添加剂协同调控,在孔内形成“蝶形搭桥”机制,
优先在通孔中部桥接,将单孔分割为两组盲孔,再向两侧同步填充,有效抑制孔口提
前封闭。兼容200-800um玻璃,支持直流与反向脉冲电镀,适配晶圆级与面板级电镀
设备,镀液组分维护简便。广泛应用于2.5D/3D封装转接板,HBM互连、AI芯片封装、
射频器件及光电集成领域。
特性与优点
1.高深宽比无空隙填充。
2.镀层无晶体缺陷,应力低、延展性高。
3. 蝶形搭桥填充机制。
4.支持直流与脉冲两种模式,兼容晶圆级与面板级两类设备平台。
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